超聲場的空化作用與清洗液的化學作用。光學零件的表面污染包括：

空氣中集聚的灰塵，由于靜電吸附而不易除去，更多的是固體粒子被油膜粘附在表面上，粒子與油膜可能為有機物質，也可能為無機物質；有時零件表面還出現由于局部發熱而形成的炭化膜層；有時零件還出現氧化膜層。

將污染的光學零件放入超聲波清洗液中，液體中的超聲振動，交變的壓強產生交變的壓縮與疏松振動運動，即空化現象。

清洗效應有三種：

1.強超聲波對污染表面的直接效應是通過將動量由運動液體直接轉移給污垢介質粒子，使粒子產生振動，附著力不強的粒子脫離表面，這是超聲波空化現象的清洗效應之一。

2.污染的微粒作為空化現象的核粒而促使空化中心的形成，壓強迅速變化而產生充滿氣體或蒸汽的空穴，而這些空穴的

3.最終崩潰而產生了強烈的沖擊波，其壓強增大了幾個數量級，能使污染表面上固體粒子破裂而分離，這是空化現象的清洗效應之二。

4.粘附于零件表面的油膜能在超聲波空化現象的作用下微細地擴散于液體中，形成乳濁液，這是空化現象的清洗效應之三。

至于清洗液溶解污染介質的能力顯然也起著重要的作用。在實際清洗過程中，幾種清洗效應是同時發生、交錯進行的。為了提高清洗質量，必須合理選擇超聲波的功率和頻率、清洗劑種類、液溫及清洗機的工作過程。